氦質(zhì)譜檢漏儀在管道檢測方面有兩種檢測方法，負(fù)壓法和正壓法，一般化工管道采用的是負(fù)壓法。負(fù)壓法就是常說的抽真空，這是氦質(zhì)譜檢漏儀常用的檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：空調(diào)制冷工業(yè)——壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等；真空科學(xué)與工業(yè)——泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機(jī)、真空爐等真空系統(tǒng)；對于體積較大的工件，采用背壓發(fā)，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。
氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學(xué)性質(zhì)及危險性，在應(yīng)用中較少使用，所以實際大部分檢漏使用的都是氦氣。氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng)，快速有效地清除超標(biāo)的氦本底，保證檢測的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性；實時監(jiān)測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；
氦質(zhì)譜檢漏儀使用氦氣作為示蹤氣體，氦是單原子稀有氣體分子，在空氣中的含量(5.2ppm), 無色、無味，常溫下為氣態(tài)的惰性氣體，極不活潑，既不能燃燒，也不助燃，化學(xué)性能穩(wěn)定。在檢測器件的密封性能時，遇到器件大漏時，有大量的氦氣進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，短時間內(nèi)儀器內(nèi)部氦氣難以清除，造成儀器的本底升高，儀器的檢測靈敏度降低，影響儀器的再次檢測精度。
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